2025年度北京市科學技術獎候選項目公示
按照北京市獎勵辦2025年度提名工作的通知要求，我單位作為“硅基諧振式壓力傳感器關鍵技術研發(fā)及應用”項目第4完成單位，現(xiàn)對候選項目進行公示（詳情參見附件）。公示期為2025年6月20日至2025年6月26日（不少于7個自然日），公示期內對公示內容如有異議，須采取書面形式，寫明提出異議的事實依據(jù)、個人真實姓名、工作單位和聯(lián)系方式向科技處反映。
聯(lián)系人及聯(lián)系電話：商艷龍 13488684627
地址：山東省濟南市歷城區(qū)港溝街道港興三路未來創(chuàng)業(yè)廣場3號樓16層
附件：候選項目公示內容
2025年6月20日
附件. 2025年度北京市科學技術獎提名公示內容
一、項目名稱
硅基諧振式壓力傳感器關鍵技術研發(fā)及應用
二、候選單位(含排序)
1、中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院；2、太原航空儀表有限公司；3、航天新氣象科技有限公司；4、山東中科思爾科技有限公司；5、中國航空工業(yè)集團公司沈陽飛機設計研究所；6、江西洪都航空工業(yè)集團有限責任公司；7、北京自動化控制設備研究所。
三、候選人(含排序)
1、王軍波；2、陳德勇；3、趙稔；4、孫立新；5、謝波；6、魯毓嵐；7、姚敏強；8、商艷龍；9、李拉兔；10、王禹；11、秦波；12、柏楠；13、張中飛；14、陳健；15、張旭。
四、項目簡介
硅基諧振式壓力傳感器是壓力傳感器中的頂級產品，在航空航天、氣象、工業(yè)測控等領域有重要應用。國際上僅有少數(shù)國家掌握此技術，前期我國全部依賴進口，存在巨大隱患。項目團隊歷經20余年持續(xù)研發(fā)，突破了高精度硅基諧振式壓力傳感器關鍵技術，研制出系列化壓力傳感器，形成了航空航天大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)、自動氣象站等衍生產品，在航空、航天、氣象、測控等領域推廣應用，取得了顯著的經濟社會效益。項目原創(chuàng)性提出了雙諧振器溫度/壓力協(xié)同敏感新機理，發(fā)明了基于雙諧振器頻率解耦的原位溫度自補償新方法，實現(xiàn)了溫度和壓力的原位同時測量并解決了溫漂難題；開發(fā)了基于SOI-MEMS的硅基諧振式壓力傳感器芯片成套制造工藝，發(fā)明了遠端隔離的傳感器芯片低應力組裝新方法，實現(xiàn)了高精度壓力傳感器的批量化制造；發(fā)明了基于脈寬調制的寬溫區(qū)自動增益閉環(huán)控制方法和基于自適應周期的雙頻快速測頻方法，解決了傳感器寬溫區(qū)穩(wěn)幅閉環(huán)和諧振器非線性振動之間的矛盾。經鑒定認為“寬溫區(qū)傳感器精度、溫度跟隨性整體指標達到國際領先水平”。項目形成RPS25XX、RPS30XX、RPS50XX、RPS56XX、DPS25XX等系列化傳感器產品，衍生出系列大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)、自動氣象站等新產品，實現(xiàn)了新一代飛機、航天高速飛行器、自動氣象站、科考氣象站、光刻機、壓力控制器等多場景應用，解決了高端裝備的核心器件“卡脖子”問題，實現(xiàn)了技術跨越和產品升級。
五、主要支撐材料目錄
序號 | 知識產權（標準規(guī)范）類別 | 名稱 | 國家 （地區(qū)） | 專利號 （標準規(guī) 范編號） | 授權公告日 （標準規(guī)范發(fā) 布日期） | 發(fā)明人（標準規(guī)范起 草人） | 權利人 （標準規(guī)范起草單位） | 應用方式 |
1 | 發(fā)明專利 | 諧振式壓力傳感器 | 中國 | ZL 201510599539.8 | 2018-04-03 | 王軍波，謝波，陳德勇，王艷雙 | 山東中科思爾科技有限公司 | 生產、銷售 |
2 | 發(fā)明專利 | 雙諧振器壓力傳感器的溫度自補償方法和測量方式 | 中國 | ZL 201510014644.0 | 2017-02-22 | 王軍波，李憶南，陳德勇，謝波 | 山東中科思爾科技有限公司 | 生產、銷售 |
3 | 發(fā)明專利 | 諧振式微機械壓力傳感器及傳感器芯片的低應力組裝方法 | 中國 | ZL 201310092955.X | 2015-02-04 | 王軍波，張健，陳德勇 | 山東中科思爾科技有限公司 | 生產、銷售 |
4 | 發(fā)明專利 | SOI片過孔內金屬焊盤的制作方法 | 中國 | ZL 201410617616.3 | 2016-03-23 | 王軍波，謝波，陳德勇 | 中國科學院電子學研究所 | 技術服務 |
5 | 發(fā)明專利 | 一種基于微電子機械技術的硅諧振式氣壓傳感器 | 中國 | ZL201010218423.2 | 2013-06-05 | 陳德勇，王軍波，李玉欣，劉猛，毋正偉 | 中國科學院電子學研究所 | 技術服務 |
6 | 發(fā)明專利 | 一種基于SOI工藝的高精度硅微諧振式氣壓傳感器 | 中國 | ZL 201210587264.2 | 2017-03-08 | 陳德勇，曹明威，王軍波 | 中國科學院電子學研究所 | 技術服務 |
7 | 發(fā)明專利 | 基于壓阻檢測的諧振式壓力傳感器及其制備方法 | 中國 | ZL201810454924.7 | 2020-08-28 | 陳德勇，魯毓嵐，王軍波，侍小青，謝波 | 中國科學院電子學研究所 | 技術服務 |
8 | 發(fā)明專利 | 壓阻拾振的微諧振器，激振/拾振電路及壓力傳感器 | 中國 | ZL 201910056907.2 | 2021-11-30 | 陳德勇，魯毓嵐，王軍波，謝波，侍小青，李亞東 | 中國科學院電子學研究所 | 技術服務 |
9 | 發(fā)明專利 | 硅諧振壓力傳感器自動標定系統(tǒng)及標定方法 | 中國 | ZL 201811253081.0 | 2020-06-26 | 陳德勇，李亞東，魯毓嵐，鄭宇，王軍波 | 中國科學院電子學研究所 | 技術服務 |
10 | 發(fā)明專利 | 一種改善諧振式壓力傳感器溫度特性的方法 | 中國 | ZL 202310007544.X | 2024-10-25 | 魯毓嵐， 謝波， 王軍波， 陳德勇， 錢攀 | 中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院 | 技術服務 |
11 | 發(fā)明專利 | 一種溫度自補償諧振式壓力傳感器控制電路及其實現(xiàn)方法 | 中國 | ZL 202210290113.4 | 2022-12-16 | 魯毓嵐，王軍波，陳德勇，商艷龍，謝波 | 山東中科思爾科技有限公司 | 生產、銷售 |
12 | 發(fā)明專利 | 一種諧振式壓力傳感器模態(tài)補償方法，系統(tǒng)，終端及介質 | 中國 | ZL 202310443340.0 | 2023-07-14 | 謝波，王軍波，商艷龍 | 山東中科思爾科技有限公司 | 生產、銷售 |
13 | 發(fā)明專利 | 一種基于STM32的等精度頻率測量方法 | 中國 | ZL 202011555226.X | 2022-11-29 | 張中飛，宣曉剛，姚敏強，李拉兔，郭暄 | 太原航空儀表有限公司 | 生產、銷售 |
14 | 發(fā)明專利 | 一種硅諧振壓力傳感器雙頻輸出轉換成單頻輸出的方法 | 中國 | ZL 202010570349.4 | 2021-10-15 | 楊毅彪，高英杰，張中飛，趙曉丹，趙稔，姚敏強，鄧宵，武敏 | 太原理工大學，太原航空儀表有限公司 | 生產、銷售 |
15 | 國家標準 | 自動氣象站 | 中國 | GB/T 44066—2024 | 2024-05-28 | 孫立新，姜明波，花衛(wèi)東，杜智濤，夏珅寧，陳曦，王冰梅，金佳寧，朱平， 韓瑩清，金紅偉，李寧，朱靜，王強峰，褚進華，胡小旭 | 航天新氣象科技有限公司，中國人民解放軍61540部隊，中國氣象局氣象探測中心，中國人民解放軍31010部隊，江蘇省氣象探測中心，華云升達(北京)氣象科技有限責任公司，中國氣象局上海物資管理處 | 生產、銷售 |
